Appareillages et caractérisation: Chapitre II : Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)

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Microélectronique

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Appareillages et caractérisation

Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)

Chapitre II : Spectrométrie de masse des ions seco...

Chapitre II : Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)

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        Appareillages et caractérisation
        Participantes
        Espace de communication
        Fiche du module
        Table des matières
        Chapitre 0 : prérequis
        Chapitre I : Caractérisation morphologique
        Microscopie optique classique
        Microscopie électronique à balayage (MEB)
        Microscopie électronique à transmission (MET)
        Microscopie à effet tunnel (STM)
        Microscopie à force atomique (AFM)
        Profilomètre
        Chapitre II : Caractérisation physico-chimique
        Spectrométrie des rayons X (EDS)
        Spectroscopie d’électrons Auger (AES)
        Spectrométrie des photoélectrons (ESCA, XPS)
        Fluorescence X (XRF)
        Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)
        Chapitre II : Spectrométrie de masse des ions seco...
        Chapitre II : Spectrométrie de masse des ions seco...
        Spectrométrie de masse des ions secondaires
        Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)
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