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UEF: Procédés d'élaboration des dispositifs semiconducteurs

L'objectif de l'enseignement est d'abordé l'ensemble des étapes technologiques et les procédés d'élaboration des dispositifs du type semi-conducteurs, en détaillant pour chacune d'elles les mécanismes physico-chimiques mis en jeu, les précautions qu'elles nécessitent et les contraintes imposées vis-à-vis des étapes de fabrication de ces dispositifs semi-conducteurs: Du Sable à la plaquette silicium
Préparation des wafers (plaquettes)
Épitaxie
Diffusion
Implantation ionique
Oxydation
Lithographie
Gravure
Métallisation
Encapsulation

Connaissances préalables recommandées:
Notions générales et élémentaires sur les semi-conducteurs

Public cible: Master 1 microélectronique

Enseignant chargé de l'UEF: Dr. N.H.TOUIDJEN-KHENIENE.
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