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  • Coefficient : 01
    
  • Crédits : 01
  • Durée : 15 semaine.
  • Volume horaire semestriel : 22h30.
  • Travail Complémentaire : 27h30.
  • Horaire : jeudi de 10h30 -11h30. Salle F06
  • Modalité d’évaluation : 100 % examen

  Note/20 =  Contrôle/20

  Objectifs de l’enseignement:
  

  Faire acquérir aux étudiants la maîtrise des appareils de caractérisation que l’on trouve dans les laboratoires de microélectronique, des méthodes et des protocoles de mesure.

  Connaissances préalables recommandées :

  Notions sur les matériaux et de Physique des semi-conducteurs.

• Table des matières

                                                                                                              
  

  • Chapitre 0 : Prérequis
    
  • Chapitre I : Caractérisation morphologique
  • Chapitre II : Caractérisation physico-chimique
  • Chapitre III : Caractérisation structurelle
  • Chapitre IV : Caractérisation optique

  
  

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• Chapitre 0 : prérequis

                                                                         
  

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• Chapitre I : Caractérisation morphologique

                                                                             
  

  La microscopie est un ensemble de techniques permettant d'obtenir une image des structures à l’échelle microscopique (morphologie, topographie, cristallographie). Le principe est dans tous les cas le même : une onde est envoyée sur la préparation ou émise par la préparation. Cette onde est captée par un objectif qui la concentre et passe par un oculaire qui crée une image observable. Cette image est soit observée à l’oeil nu, soit photographiée, soit enregistrée par caméra CCD et stocké sur ordinateur pour retraitement.

  Aujourd'hui la microscopie est divisée en deux grands groupes, différents par la nature de la particule élémentaire impliquée :

  • Le microscope optique, aussi appelé photonique, parce qu'il utilise des photons,
  • Le microscope électronique qui utilise des électrons pour étudier l'objet,
  • Le microscope à champ proche qui utilise la force atomique et l’effet tunnel.

  
  

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• Microscopie optique classique

                                                                                 
  

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• Microscopie électronique à balayage (MEB)

                                                                                  
  

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• Microscopie électronique à transmission (MET)

                                                                                  
  

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• Microscopie à effet tunnel (STM)

                                                                                
  

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• Microscopie à force atomique (AFM)

                                                                    
  

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• Profilomètre

                                                                               
  

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• Chapitre II : Caractérisation physico-chimique

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• Spectrométrie des rayons X (EDS)

                                                                                
  

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• Spectroscopie d’électrons Auger (AES)

                                                                               
  

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• Spectrométrie des photoélectrons (ESCA, XPS)

                                                                              
  

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• Fluorescence X (XRF)

                                                                             
  

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• Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)

                                                                               
  

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• Rétrodiffusion Rutherford (RBS)

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