Appareillages et Techniques de caractérisation

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• Fiche du module

  • Coefficient : 01
    
  • Crédits : 01
  • Durée : 15 semaine.
  • Volume horaire semestriel : 22h30.
  • Travail Complémentaire : 27h30.
  • Horaire : jeudi de 10h30 -11h30. Salle F06
  • Modalité d’évaluation : 100 % examen

  Note/20 =  Contrôle/20

  Objectifs de l’enseignement:
  

  Faire acquérir aux étudiants la maîtrise des appareils de caractérisation que l’on trouve dans les laboratoires de microélectronique, des méthodes et des protocoles de mesure.

  Connaissances préalables recommandées :

  Notions sur les matériaux et de Physique des semi-conducteurs.

• Table des matières

                                                                                                              
  

  • Chapitre 0 : Prérequis
    
  • Chapitre I : Caractérisation morphologique
  • Chapitre II : Caractérisation physico-chimique
  • Chapitre III : Caractérisation structurelle
  • Chapitre IV : Caractérisation optique

  
  

  Página: 1

• Chapitre 0 : prérequis

  Destacado

                                                                         
  

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  • L'atome et la matière
    

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    Interaction rayonnement matière Wiki

    Dans cette partie vous pouvez écrit se qui à été donné par l'enseignant dans le cours comme explication ou autres détails qui ne se trouve pas sur le polycopie. Pour que sa vous aidera lors de la révision pour le contrôle.

    se résumé en quelque sorte il est collaboratif, c'est à dire tous les étudiant pourront écrire ici et tous se qui est écrit ici est visible par tous les étudiant 

    
    

• Chapitre I : Caractérisation morphologique

                                                                             
  

  La microscopie est un ensemble de techniques permettant d'obtenir une image des structures à l’échelle microscopique (morphologie, topographie, cristallographie). Le principe est dans tous les cas le même : une onde est envoyée sur la préparation ou émise par la préparation. Cette onde est captée par un objectif qui la concentre et passe par un oculaire qui crée une image observable. Cette image est soit observée à l’oeil nu, soit photographiée, soit enregistrée par caméra CCD et stocké sur ordinateur pour retraitement.

  Aujourd'hui la microscopie est divisée en deux grands groupes, différents par la nature de la particule élémentaire impliquée :

  • Le microscope optique, aussi appelé photonique, parce qu'il utilise des photons,
  • Le microscope électronique qui utilise des électrons pour étudier l'objet,
  • Le microscope à champ proche qui utilise la force atomique et l’effet tunnel.

  
  

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• Microscopie optique classique

                                                                                 
  

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• Microscopie électronique à balayage (MEB)

                                                                                  
  

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• Microscopie électronique à transmission (MET)

                                                                                  
  

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• Microscopie à effet tunnel (STM)

                                                                                
  

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• Microscopie à force atomique (AFM)

                                                                    
  

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• Profilomètre

                                                                               
  

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• Chapitre II : Caractérisation physico-chimique
  Áreas de texto y medios: 6

• Spectrométrie des rayons X (EDS)

                                                                                
  

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• Spectroscopie d’électrons Auger (AES)

                                                                               
  

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• Spectrométrie des photoélectrons (ESCA, XPS)

                                                                              
  

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• Fluorescence X (XRF)

                                                                             
  

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• Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)

                                                                               
  

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• Rétrodiffusion Rutherford (RBS)
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