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        Fiche du module
        Table des matières
        Chapitre 0 : prérequis
        Chapitre I : Caractérisation morphologique
        Microscopie optique classique
        Microscopie électronique à balayage (MEB)
        Microscopie électronique à transmission (MET)
        Microscopie à effet tunnel (STM)
        Microscopie à force atomique (AFM)
        Profilomètre
        Chapitre I : Profilomètre
        Chapitre I : Profilomètre
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        Chapitre II : Caractérisation physico-chimique
        Spectrométrie des rayons X (EDS)
        Spectroscopie d’électrons Auger (AES)
        Spectrométrie des photoélectrons (ESCA, XPS)
        Fluorescence X (XRF)
        Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)
        Rétrodiffusion Rutherford (RBS)
        Processus Technologiques en Microelectronique
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